自主研發能力
具備完整的化學合成路徑研究、系統模擬設計與製程開發能力。
智慧製造能力
整合自動化與人工智慧控制技術，以提升製程效率與穩定性。
整合式研發分析（全鏈控管）
從前期研發、安全分析、設備製造到產品分析，皆具備完整的自主掌控能力。
產品介紹
ALD Precursor / MO Source
ALD Precursor / MO Source
Low-k Precursor and MO (TEOS, 4MS, DEMS)High-k Low-k Precursor and MO (TEMAZr, TEMAHf, SbCl3)
半導體特氣
半導體特氣
3MS、SO₂、MMS，用於碳化矽的高純度碳氫化合物氣體、ASML 光刻雷射氣體、半導體前驅體、用於濕式製程的酸鹼溶液、用於清洗和蝕刻的溶劑、用於電子應用的客製化混合物
氣體&化學品供應系統
氣體&化學品供應系統
Gas Cabinet, BSGS, Chemical Delivery System (CDS / CDM / CCB)VMB, VMPGas Purifier (6N - 9N)
Project EPC
Project EPC
提供一站式 EPC (設計、採購、施工) 服務，確保現場配管與設施完美銜接
同位素
同位素
同位素